| 機器名 | 機関 | 部門 | 対象試料 | メーカー・型番 | 略称名 | 設置年 |
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| 透過型電子顕微鏡 | 甲府 | 形状観察 構造解析 | | 日本電子・JEM2000FX-II | TEM | 1992 |
| 電界放射型透過電子顕微鏡 | 甲府 | 形状観察 構造解析 | | FEI・Tecnai Osiris | FE-TEM | 2010 |
| 走査型プローブ顕微鏡 | 甲府 | 形状測定 形状観察 | | ブルカージャパン・Dimension Icon | SPM | 2014 |
| 集束イオンビーム | 甲府 | 電顕前処理 | | 日立ハイテクノロジーズ・FB-2100A | FIB | 2004 |
| 低角イオンミリング | 甲府 | 電顕前処理 | | ガタン・PIPS | | 2005 |
| 試料研磨システム | 甲府 | 電顕前処理 | | | | |
| 試料トリミング装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | Leica・EMTRIM | | 2005 |
| 硬質材料用?研磨装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | ムサシノ電子・MA-150 | | |
| マニピュレータ | 甲府 | 電顕前処理 | | 駿河精機・M341 | | 2005 |
| 真空蒸着装置（TEM試料室） | 甲府 | 電顕前処理 | | サンユー電子・QuickCarbonCoaterSC-701C | | |
| ウルトラミクロトーム | 甲府 | 電顕前処理 | | REICHERT・SUPERNOVA | | 2004 |
| クライオミクロトーム | 甲府 | 電顕前処理 | | Leica・ULTRACUT UCT | | 2004 |
| プラズマクリーナ | 甲府 | 電顕前処理 | | FISHIONE・MODEL1020 | | 2004 |
| 試料包埋機 | 甲府 | 電顕前処理 | | リファインテック・ラピッドプレス | | 2012 |
| 真空蒸着装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | 日本電子・JEE-400 | DP | |
| インレンズ型電界放射型走査電子顕微鏡 | 甲府 | 形状観察 元素分析 | | 日立ハイテクノロジーズ・S-5200 | FE-SEM | 2016 |
| X線光電子分光装置 | 甲府 | 元素分析 構造解析 | | 日本電子・JPS-9200 | XPS | 2002 |
| オージェ電子分光装置 | 甲府 | | | 日本電子・JAMP-7810 | AES | 2002 |
| 分光エリプソメータ? | 甲府 | | | センテック・SE800 | | 2002 |
| 分光エリプソメータ? | 甲府 | | | J.A.ウーラム・RC2-U-Yk | | 2012 |
| 触針式表面形状測定装置 | 甲府 | 形状測定 | | Veeco・Dektak150 | | 2010 |
| 真空蒸着装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | 日本電子・JEE-420T | | 2002 |
| 機械研磨装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | 丸本ストルアス・Rotopol-15 | | |
| 電解研磨装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | 丸本ストルアス・Lectropol-5 | | |
| イオンエッチング装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | ガタン・MET-ETCH | | |
| ソフトエッチング装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | | | 2006 |
| イオンスパッタ装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | 日立ハイテクノロジーズ・E-1030 | | 2004 |
| オスミウムコータ | 甲府 | 電顕前処理 | | フィルジェン・OPC60N | | 2004 |
| 三次元座標測定機 | 甲府 | 形状測定 | | 東京精密製・ザイザックスGC800D | | 1987 |
| 円柱形状測定機（設備NWに無し） | 甲府 | | | | | 1987 |
| 三次元粗さ測定機 | 甲府 | 形状測定 | | サーフコム・554AD | | 1987 |
| 小型万能試験機 | 甲府 | 機械特性 | | 島津製作所・AGS-H | | 2009 |
| 歪測定機 | 甲府 | 機械特性 | | | | |
| ナノインデンタ | 甲府 | 機械特性 | | ナノインスツルメンツ・NANO G200 | | 2008 |
| カラーレーザ顕微鏡 | 甲府 | 形状観察 形状測定 | | キーエンス・VK-8510 | | 2003 |
| 液体窒素（供給） | 甲府 | その他 | | | | |
| 極低温ヘリウム冷凍機 | 甲府 | その他 | | | | |
| 低振動型極低温ヘリウム冷凍機 | 甲府 | | | | | |
| ホール測定装置 | 甲府 | 半導体物性 | | 東陽テクニカ・ResiTest8300 | | 2009 |
| DLTS測定装置 | 甲府 | 半導体物性 | | | | 2009 |
| 強誘電体特性測定装置 | 甲府 | 半導体物性 | | | | 2009 |
| 半導体C-V測定装置 | 甲府 | 半導体物性 | | | | 2009 |
| 多目的X線回折装置 | 甲府 | 構造解析 | | リガク・Smart Lab | XRD | 2009 |
| 熱重量示差熱分析装置 | 甲府 | 物性評価 | | リガク・TG-DTA8122 | TG-DTA | 2019 |
| 示差走査熱量分析装置(DSC) | 甲府 | 物性評価 | | | TG-DTA | 2019 |
| 熱分析装置 | 甲府 | 物性評価 | | マックサイエンス2000S | TG-DTA | |
| 核磁気共鳴装置 500MHz | 甲府 | 構造解析 | | ブルカージャパン・AVANCEⅢHD | NMR | 2013 |
| 液体クロマトグラフ質量分析装置 | 甲府 | 構造解析 | | Waters・ ACQUITY UPLC | LC-MS | 2008 |
| 有機微量元素分析装置 | 甲府 | 元素分析 | | Thermo Fisher Scientific・Flash EA 1112 Series | | 2006 |
| ガスクロマトグラフ質量分析装置 | 甲府 | 構造解析 | | 日本電子・Jms-Q1000GC MKⅡ | GC-MS | 2009 |
| ICP発光分光分析装置 | 甲府 | 元素分析 | | 日立ハイテクサイエンス・ SPS3520UV-DD | ICP-OES | 2013 |
| フーリエ変換赤外分光光度計 | 甲府 | 構造解析 | | SHIMADZU・FTIR-8700＆AIM-8800 | | 1998 |
| 顕微紫外可視近赤外分光光度計 | 甲府 | 構造解析 | | JASCO・MSV-5200 | UV-vis/NIR | 2012 |
| レーザーラマン分光光度計 | 甲府 | 構造解析 | | 日本分光・NRS-2100 | | 2003 |
| Heリークディテクター | 甲府 | その他 | | ANELVA・HELEN M-212LD | | 2012 |
| クロスセクションポリッシャ | 甲府 | 電顕前処理 | | 日本電子・IB-09010cp | CP | 2013 |
| 電子スピン共鳴装置 | 甲府 | 構造解析 | | 日本電子・JES-FA200 | ESR | 2019 |
| 粒子径・ゼータ電位・分子量測定装置 | 甲府 | 物性評価 | | マルバーン | ゼータサイザーナノZSP | 2020 |
| 密着強度測定機 | 甲府 | 機械特性 | | フォトテクニカ・ロミュラスⅣ | | 2006 |
| ソフトプラズマエッチング装置 | 甲府 | 電顕前処理 | | メイワフォーシスSEDE-GE | | |
| 電界放射型電子プローブマイクロアナライザー | 甲府 | 元素分析 形状観察 | | 日本電子・JXA-iHP200F | FE-EPMA | 2021 |
| 電界放射型走査電子顕微鏡 | 甲府 | 形状観察 元素分析 | | 日本電子・JSM-IT700HR | FE-SEM | 2021 |
| 蛍光X線分析装置 | 甲府 | 元素分析 | | SII・SEA1200VX | XRF | 2013 |
| ハンドヘルド蛍光X線分析装置 | 甲府 | 元素分析 | | リガク・Niton XL2 Plus | Handheld XRF | 2021 |
| 示差走査熱分析装置 | 甲府 | 物性評価 | | RIGAKU・Thermo plus DSC 8240 | DSC | |
| ワンショット3D形状測定機 | 甲府 | 形状観察 形状測定 | | キーエンス・VR-5000 | | 2020 |
