電界放射型走査電子顕微鏡(FE-SEM)

日本電子　JSM-IT700HR

装置概要

　電子線を照射したときに試料表面から放出される電子を検出することで、表面形態を観察する装置です。本装置はエネルギー分散型X線分光装置(EDS)と電子線後方散乱回析装置(EBSD)を備えているので、元素分析と結晶方位解析も行えます。

詳細は年報第10巻(2022年度版) P11～記載しております。

設置場所

　新館 206号室