機器一覧

機器利用料金(学内アクセス限定)

機器使用料金はこちらからご確認頂けます。(学内アクセス限定)
⋆11月更新

利用料金表(pdf)

設置機器

他大学・公的機関の方が利用できる機器は設備NWに公開しています。
民間企業等の方が利用できる機器はこちらに掲載しています。

目的に応じたボタンを押していただく事で装置の検索を行うことができます。
フリーワードで検索を行うことも可能です。

機器一覧設置場所技術相談員キーワード
DLTS測定装置新館1階104号室鍋谷・矢野
半導体物性
Heリークディテクター新館1階電気室佐藤哲・篠塚その他
ICP発光分光分析装置 (ICP-OES)新館3階304号室武井・阪根・勝又元素分析
X線光電子分光装置 (XPS)新館3階305号室佐藤哲・近藤・篠塚元素分析 / 構造解析
イオンエッチング装置新館3階308号室田中電顕前処理
イオンスパッタ装置A旧館2階B202号室田中電顕前処理
イオンスパッタ装置B旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
インレンズ型電界放射型
走査電子顕微鏡 (日立 S-5200)
新館3階306号室山中形状観察 / 元素分析
ウルトラミクロトーム旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
オージェ電子分光装置 (AES)新館3階305号室近藤・篠塚元素分析 / 形状観察
オスミウムプラズマコータ旧館2階B202号室田中電顕前処理
ガスクロマトグラフ質量分析装置 (GC-MS)旧館2階B206号室植田構造解析
カラーレーザ顕微鏡 旧館1階B106号室形状観察 /形状測定
クイックカーボンコータ旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
クライオミクロトーム旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
クロスセクションポリッシャ (CP)
(高精度イオンビーム研磨機)
新館2階206号室近藤・勝又電顕前処理
サーマルサイクラ (PCR)新館3階301号室その他
ソフトプラズマエッチング装置
(ソフトエッチャー)
新館3階308号室支援室電顕前処理
ナノインデンター旧館2階B208号室近藤・篠塚機械特性
フーリエ変換赤外分光光度計 (FT-IR)新館3階302号室小幡・勝又・篠塚構造解析
プラズマクリーナ旧館1階B102号室山中・山本電顕前処理
ホール測定装置新館1階104号室村中・小野島・柳半導体物性
マニピュレータ旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
レーザーラマン分光光度計旧館2階B205号室有元・佐藤哲・勝又構造解析
ワンショット3D形状測定機旧館1階B105号室支援室(ものづくり管理)形状観察 / 形状測定
液体クロマトグラフ質量分析装置 (LC-MS)旧館2階B206号室久本・小久保構造解析
液体窒素新館1階106号室村中その他
核磁気共鳴装置 (NMR)新館1階103号室桑原・勝又構造解析
機械研磨装置新館3階308号室田中電顕前処理
強誘電体特性測定装置新館1階104号室鍋谷・矢野物性評価
極低温ヘリウム冷凍機新館1階104号室鍋谷その他
携帯型成分分析計(ハンドヘルドXRF)新館1階107号室近藤・支援室元素分析
蛍光X線分析装置 (XRF)新館3階307号室武井・支援室元素分析
顕微紫外可視近赤外分光光度計新館3階302号室田中・米崎構造解析
顕微赤外測定システム (顕微FT-IR)新館3階302号室小幡・勝又・篠塚構造解析
硬質材料用研磨装置旧館2階B201号室山中電顕前処理
三次元座標測定機旧館1階B106号室清水毅形状測定
三次元粗さ測定機旧館1階B107号室清水毅形状測定
試料トリミング装置旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
試料研磨システム旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
試料包埋機新館3階307号室山中・篠塚電顕前処理
示差走査熱量分析装置 (DSC)新館3階301号室佐藤博・篠塚物性評価
集束イオンビーム加工装置 (FIB) 旧館1階B102号室山中・山本電顕前処理
小型万能試験機旧館1階B105号室近藤機械特性
触針式表面形状測定装置 (Dektak)新館3階305号室近藤・佐藤哲形状測定
真空蒸着装置 (DP)旧館2階B201号室山中電顕前処理
真空蒸着装置 (TMP)新館2階206号室篠塚電顕前処理
走査型プローブ顕微鏡 (SPM)旧館2階B208号室佐藤哲・篠塚形状観察 / 形状測定
走査透過型電子顕微鏡 (STEM)旧館1階B102号室山中・山本形状観察 / 構造解析
多目的X線回折装置 (XRD)旧館1階B104号室佐藤博・篠塚構造解析
多目的画像解析装置新館3階301号室その他
低角イオンミリング (PIPS)旧館2階B202号室山中・山本電顕前処理
電解研磨装置新館3階308号室田中電顕前処理
電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM)新館2階206号室山中・藤井・支援室形状観察 / 元素分析
電界放射型電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)新館2階206号室綿打・猿渡・篠塚元素分析 / 形状観察
電界放射型透過電子顕微鏡 (FE-TEM Osiris)旧館1階B103号室山中・山本形状観察 / 構造解析
電子スピン共鳴装置 (ESR)新館1階104号室佐藤哲・勝又構造解析
透過型電子顕微鏡 (TEM 2000Fx-II)旧館1階B102号室山中・山本形状観察 / 構造解析
熱重量示差熱分析装置 (TG-DTA)新館3階301号室佐藤博・篠塚物性評価
熱分析装置新館3階307号室佐藤博・篠塚物性評価
LCRメータ新館1階104号室村中・小野島物性評価
分光エリプソメータ ​(JAW)新館3階305号室近藤・佐藤哲物性評価
分光エリプソメータ ​(Sentech)新館3階305号室近藤・佐藤哲物性評価
密着強度測定機
(ユニバーサル密着強度測定器)
旧館2階B201号室支援室機械特性
有機微量元素分析装置旧館2階B204号室小幡・勝又元素分析
粒子径・ゼータ電位・分子量測定装置 (DLS)旧館2階B204号室小幡・勝又物性評価
歪測定機旧館1階B105号室近藤機械特性
倒立型顕微鏡旧館2階B202号室山中形状観察
X線回折装置(粉末禁止)クリスタル研有元(クリスタル研管理)
超薄膜スクラッチ試験機近藤研究室近藤(近藤研究室管理)
タイトルとURLをコピーしました