機器利用料金（学内アクセス限定）
機器使用料金はこちらからご確認頂けます。（学内アクセス限定）
⋆11月更新
設置機器
他大学・公的機関の方が利用できる機器は設備NWに公開しています。
民間企業等の方が利用できる機器はこちらに掲載しています。
目的に応じたボタンを押していただく事で装置の検索を行うことができます。
フリーワードで検索を行うことも可能です。
| 機器一覧 | 設置場所 | 技術相談員 | キーワード |
|---|---|---|---|
| DLTS測定装置 | 新館1階104号室 | 鍋谷・矢野 | 半導体物性 |
| Heリークディテクター | 新館1階電気室 | 佐藤哲・篠塚 | その他 |
| ICP発光分光分析装置 (ICP-OES) | 新館3階304号室 | 武井・阪根・勝又 | 元素分析 |
| X線光電子分光装置 (XPS) | 新館3階305号室 | 佐藤哲・近藤・篠塚 | 元素分析 / 構造解析 |
| イオンエッチング装置 | 新館3階308号室 | 田中 | 電顕前処理 |
| イオンスパッタ装置A | 旧館2階B202号室 | 田中 | 電顕前処理 |
| イオンスパッタ装置B | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| インレンズ型電界放射型 走査電子顕微鏡 (日立 S-5200) | 新館3階306号室 | 山中 | 形状観察 / 元素分析 |
| ウルトラミクロトーム | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| オージェ電子分光装置 (AES) | 新館3階305号室 | 近藤・篠塚 | 元素分析 / 形状観察 |
| オスミウムプラズマコータ | 旧館2階B202号室 | 田中 | 電顕前処理 |
| ガスクロマトグラフ質量分析装置 (GC-MS) | 旧館2階B206号室 | 植田 | 構造解析 |
| カラーレーザ顕微鏡 | 旧館1階B106号室 | 平 | 形状観察 /形状測定 |
| クイックカーボンコータ | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| クライオミクロトーム | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| クロスセクションポリッシャ (CP) （高精度イオンビーム研磨機） | 新館2階206号室 | 近藤・勝又 | 電顕前処理 |
| サーマルサイクラ (PCR) | 新館3階301号室 | その他 | |
| ソフトプラズマエッチング装置 （ソフトエッチャー） | 新館3階308号室 | 支援室 | 電顕前処理 |
| ナノインデンター | 旧館2階B208号室 | 近藤・篠塚 | 機械特性 |
| フーリエ変換赤外分光光度計 (FT-IR) | 新館3階302号室 | 小幡・勝又・篠塚 | 構造解析 |
| プラズマクリーナ | 旧館1階B102号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| ホール測定装置 | 新館1階104号室 | 村中・小野島・柳 | 半導体物性 |
| マニピュレータ | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| レーザーラマン分光光度計 | 旧館2階B205号室 | 有元・佐藤哲・勝又 | 構造解析 |
| ワンショット3D形状測定機 | 旧館1階B105号室 | 支援室(ものづくり管理) | 形状観察 / 形状測定 |
| 液体クロマトグラフ質量分析装置 (LC-MS) | 旧館2階B206号室 | 久本・小久保 | 構造解析 |
| 液体窒素 | 新館1階106号室 | 村中 | その他 |
| 核磁気共鳴装置 (NMR) | 新館1階103号室 | 桑原・勝又 | 構造解析 |
| 機械研磨装置 | 新館3階308号室 | 田中 | 電顕前処理 |
| 強誘電体特性測定装置 | 新館1階104号室 | 鍋谷・矢野 | 物性評価 |
| 極低温ヘリウム冷凍機 | 新館1階104号室 | 鍋谷 | その他 |
| 携帯型成分分析計(ハンドヘルドXRF) | 新館1階107号室 | 近藤・支援室 | 元素分析 |
| 蛍光X線分析装置 (XRF) | 新館3階307号室 | 武井・支援室 | 元素分析 |
| 顕微紫外可視近赤外分光光度計 | 新館3階302号室 | 田中・米崎 | 構造解析 |
| 顕微赤外測定システム (顕微FT-IR) | 新館3階302号室 | 小幡・勝又・篠塚 | 構造解析 |
| 硬質材料用研磨装置 | 旧館2階B201号室 | 山中 | 電顕前処理 |
| 三次元座標測定機 | 旧館1階B106号室 | 清水毅 | 形状測定 |
| 三次元粗さ測定機 | 旧館1階B107号室 | 清水毅 | 形状測定 |
| 試料トリミング装置 | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| 試料研磨システム | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| 試料包埋機 | 新館3階307号室 | 山中・篠塚 | 電顕前処理 |
| 示差走査熱量分析装置 (DSC) | 新館3階301号室 | 佐藤博・篠塚 | 物性評価 |
| 集束イオンビーム加工装置 (FIB) | 旧館1階B102号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| 小型万能試験機 | 旧館1階B105号室 | 近藤 | 機械特性 |
| 触針式表面形状測定装置 (Dektak) | 新館3階305号室 | 近藤・佐藤哲 | 形状測定 |
| 真空蒸着装置 (DP) | 旧館2階B201号室 | 山中 | 電顕前処理 |
| 真空蒸着装置 (TMP) | 新館2階206号室 | 篠塚 | 電顕前処理 |
| 走査型プローブ顕微鏡 (SPM) | 旧館2階B208号室 | 佐藤哲・篠塚 | 形状観察 / 形状測定 |
| 走査透過型電子顕微鏡 (STEM) | 旧館1階B102号室 | 山中・山本 | 形状観察 / 構造解析 |
| 多目的X線回折装置 (XRD) | 旧館1階B104号室 | 佐藤博・篠塚 | 構造解析 |
| 多目的画像解析装置 | 新館3階301号室 | その他 | |
| 低角イオンミリング (PIPS) | 旧館2階B202号室 | 山中・山本 | 電顕前処理 |
| 電解研磨装置 | 新館3階308号室 | 田中 | 電顕前処理 |
| 電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) | 新館2階206号室 | 山中・藤井・支援室 | 形状観察 / 元素分析 |
| 電界放射型電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA) | 新館2階206号室 | 綿打・猿渡・篠塚 | 元素分析 / 形状観察 |
| 電界放射型透過電子顕微鏡 (FE-TEM Osiris) | 旧館1階B103号室 | 山中・山本 | 形状観察 / 構造解析 |
| 電子スピン共鳴装置 (ESR) | 新館1階104号室 | 佐藤哲・勝又 | 構造解析 |
| 透過型電子顕微鏡 (TEM 2000Fx-II) | 旧館1階B102号室 | 山中・山本 | 形状観察 / 構造解析 |
| 熱重量示差熱分析装置 (TG-DTA) | 新館3階301号室 | 佐藤博・篠塚 | 物性評価 |
| 熱分析装置 | 新館3階307号室 | 佐藤博・篠塚 | 物性評価 |
| LCRメータ | 新館1階104号室 | 村中・小野島 | 物性評価 |
| 分光エリプソメータ (JAW) | 新館3階305号室 | 近藤・佐藤哲 | 物性評価 |
| 分光エリプソメータ (Sentech) | 新館3階305号室 | 近藤・佐藤哲 | 物性評価 |
| 密着強度測定機 （ユニバーサル密着強度測定器） | 旧館2階B201号室 | 支援室 | 機械特性 |
| 有機微量元素分析装置 | 旧館2階B204号室 | 小幡・勝又 | 元素分析 |
| 粒子径・ゼータ電位・分子量測定装置 (DLS) | 旧館2階B204号室 | 小幡・勝又 | 物性評価 |
| 歪測定機 | 旧館1階B105号室 | 近藤 | 機械特性 |
| 倒立型顕微鏡 | 旧館2階B202号室 | 山中 | 形状観察 |
| X線回折装置（粉末禁止） | クリスタル研 | 有元（クリスタル研管理） | |
| 超薄膜スクラッチ試験機 | 近藤研究室 | 近藤（近藤研究室管理） |