低角イオンミリング

装置概要

　試料に対して表面に近い低角度からアルゴンビームを入射させ、試料表面を削っていく装置です。TEM観察用試料の作製などのために使用できます。

主な仕様

メーカー	Gatan
機種名	PIPS

設置年度

2005年度

設置場所

旧館 B202号室

利用について

学外利用

本装置は学内者のみ利用可能です。