触針式表面形状測定装置

装置概要

　試料表面を1方向にスキャンし、段差と凹凸を測定する装置です。薄膜の厚さやエッチング深さ、表面粗さなどを求めることができます。

主な仕様

メーカー	Veeco
機種名	Dektak 150

設置年度

2010年度

設置場所

新館 307号室

利用について

学外利用

本装置は他大学・公的研究機関による利用が可能です。