機器設置場所
こちらをご覧ください(2023年時点)。一部最新の情報と異なる場合があります。
機器一覧
機器分析センター内に設置している機器の一覧表です。
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分野別検索
| 機器名 | 略称・通称 | メーカー | 機種名・型番 | 分野1 | 分野2 |
|---|---|---|---|---|---|
| 電界放射型透過電子顕微鏡 | FE-TEM | FEI | Tecnai Osiris | 形状観察 | 構造解析 |
| 走査透過型電子顕微鏡 | STEM | 日立ハイテクノロジーズ | HD-2300C | 形状観察 | 構造解析 |
| 走査型プローブ顕微鏡 | SPM | ブルカージャパン | Dimension Icon | 形状測定 | 形状観察 |
| 集束イオンビーム | FIB | 日立ハイテクノロジーズ | FB-2100A | 電顕前処理 | 形状観察 |
| 低角イオンミリング | Gatan | PIPS | 電顕前処理 | ||
| 試料研磨システム | 電顕前処理 | ||||
| 試料トリミング装置 | Leica | EM TRIM | 電顕前処理 | ||
| 硬質材料用研磨装置 | ムサシノ電子 | MA-150 | 電顕前処理 | ||
| マニピュレータ | 駿河精機 | M341 | 電顕前処理 | ||
| 真空蒸着装置(TEM試料室) | クイックカーボンコータ | サンユー電子 | SC-701C | 電顕前処理 | |
| ウルトラクライオミクロトーム | Leica | ULTRACUT UCT | 電顕前処理 | ||
| プラズマクリーナ | Fishione | MODEL 1020 | 電顕前処理 | ||
| 試料包埋機 | リファインテック | ラピッドプレス | 電顕前処理 | ||
| 真空蒸着装置(DP) | 日本電子 | JEE-400 | 電顕前処理 | ||
| インレンズ型電界放射型走査電子顕微鏡 | FE-SEM | 日立ハイテクノロジーズ | S-5200 | 形状観察 | 元素分析 |
| X線光電子分光装置 | XPS | 日本電子 | JPS-9200 | 元素分析 | 構造解析 |
| オージェ電子分光装置 | AES | 日本電子 | JAMP-7810 | 元素分析 | 形状観察 |
| 分光エリプソメータ(Sentec) | Sentec | SE800 | 構造解析 | ||
| 分光エリプソメータ(JAW) | J.A.ウーラム | RC2-U-Yk | 構造解析 | ||
| 触針式表面形状測定装置 | Dektak | Veeco | Dektak150 | 形状測定 | |
| 真空蒸着装置(TMP) | 日本電子 | JEE-420T | 電顕前処理 | ||
| 機械研磨装置 | 丸本ストルアス | Rotopol-15 | 電顕前処理 | ||
| 電解研磨装置 | 丸本ストルアス | Lectropol-5 | 電顕前処理 | ||
| イオンエッチング装置 | Gatan | MET-ETCH | 電顕前処理 | ||
| イオンスパッタ装置 | 日立ハイテクノロジーズ | E-1030 | 電顕前処理 | ||
| オスミウムコータ | フィルジェン | OPC60N | 電顕前処理 | ||
| 三次元座標測定機 | 東京精密 | ザイザックス GC800D | 形状測定 | ||
| 円柱形状測定機 | 東京精密 | ロンコム 50A | 形状測定 | ||
| 三次元粗さ測定機 | 東京精密 | サーフコム 554AD | 形状測定 | ||
| 小型万能試験機 | 島津製作所 | AGS-H | 機械特性 | ||
| 歪測定機 | 機械特性 | ||||
| ナノインデンター | 東陽テクニカ | Nano Indenter G200 | 機械特性 | ||
| カラーレーザ顕微鏡 | キーエンス | VK-8510 | 形状観察 | 形状測定 | |
| 液体窒素 | その他 | ||||
| ホール測定装置 | 東陽テクニカ | ResiTest8300 | 物性評価 | ||
| DLTS測定装置 | 東陽テクニカ | Model 6746B | 物性評価 | ||
| 強誘電体特性測定装置 | 東陽テクニカ | Model 6252 Rev.C | 物性評価 | ||
| LCRメータ | 東陽テクニカ | Model 6440B | 物性評価 | ||
| 多目的X線回折装置 | XRD | リガク | SmartLab | 構造解析 | |
| 熱重量示差熱分析装置 | TG-DTA | リガク | TG-DTA8122 | 物性評価 | |
| 示差走査熱量分析装置 | DSC | リガク | DSCvesta | 物性評価 | |
| 核磁気共鳴装置 500MHz | NMR | ブルカージャパン | AVANCEⅢHD | 構造解析 | |
| 液体クロマトグラフ質量分析装置 | LC-MS | ウォーターズ | ACQUITY UPLC | 構造解析 | |
| 有機微量元素分析装置 | サーモフィッシャーサイエンティフィック | Flash EA 1112 Series | 元素分析 | ||
| ガスクロマトグラフ質量分析装置 | GC-MS | 日本電子 | JMS-Q1000GC MKII | 構造解析 | |
| ICP発光分光分析装置 | ICP-OES | 日立ハイテクサイエンス | SPS3520UV-DD | 元素分析 | |
| フーリエ変換赤外分光光度計 | FT-IR | 島津製作所 | FTIR-8700＆AIM-8800 | 構造解析 | |
| 顕微紫外可視近赤外分光光度計 | UV-vis/NIR | 日本分光 | MSV-5200 | 構造解析 | |
| レーザーラマン分光光度計 | ラマン | 日本分光 | NRS-2100 | 構造解析 | |
| Heリークディテクター | キヤノンアネルバ | HELEN M-212LD | その他 | ||
| クロスセクションポリッシャ | CP | 日本電子 | IB-09010CP | 電顕前処理 | |
| 電子スピン共鳴装置 (JES-FA200) | ESR | 日本電子 | JES-FA200 | 構造解析 | |
| 電子スピン共鳴装置 (JES-FA300) | ESR | 日本電子 | JES-FA300 | 構造解析 | |
| 粒子径・ゼータ電位・分子量測定装置 | DLS | マルバーンパナリティカル | ゼータサイザーナノZSP | 物性評価 | |
| 密着強度測定機 | フォトテクニカ | ROMULUS Ⅳ | 機械特性 | ||
| ソフトプラズマエッチング装置 | メイワフォーシス | SEDE-GE | 電顕前処理 | ||
| 電界放射型電子プローブマイクロアナライザー | FE-EPMA | 日本電子 | JXA-iHP200F | 元素分析 | 形状観察 |
| 電界放射型走査電子顕微鏡 | FE-SEM | 日本電子 | JSM-IT700HR | 形状観察 | 元素分析 |
| 蛍光X線分析装置 | XRF | 日立ハイテクサイエンス | SEA1200VX | 元素分析 | |
| ハンドヘルド蛍光X線分析装置 | ハンドヘルドXRF | リガク | Niton XL2 Plus | 元素分析 | |
| 試料調製システム | その他 | ||||
| 多目的画像解析装置 | バイオ・ラッド | ChemiDoc | その他 | ||
| PCR装置 | サーモバイオアナリシス | PCR Sprint | その他 | ||
| 倒立型金属顕微鏡 | オリンパス | GX51 | 形状観察 | ||
| ミクロトーム | 大和光機工業 | RV-240 | 電顕前処理 | ||
| ディンプルグラインダー | Fischione | MODEL 150 | 電顕前処理 | ||
| マイクロソー | 笠井商工 | 電顕前処理 | |||
| ワンショット3D形状測定機(ものづくり) | キーエンス | VR-5000 | 形状観察 | 形状測定 |
利用料金
学内からのみアクセス可能です。
※2024.4.19
分光エリプソメーターについて、これまでグリーン関係者は無料としていましたが、今年度からは他ユーザーと同様に料金が発生しますのでご留意ください。
それとあわせて料金を値下げすることとしました。
※2024.10.21
クロスセクションポリッシャーについて、遮蔽板を研究室で購入して持ち込んだ場合は料金を100円/時間とします。これまで通りセンターで用意しているものを使用した際は、料金表に記載の金額となります。