装置概要
非接触で対象物の広範囲の表面状態をミクロンオーダーで測定することができます。
測定自体も簡単かつ非常に高速に行うことができ、なおかつ測定再現性も高い装置です。
データを解析することで、ラインに沿った高さ、幅、角度などの情報、試料を真上から見た時のXY寸法、線粗さ、面粗さ、うねり等の情報を取得できます。
また、画像連結機能を用いることで非常に広い範囲の情報が得られます。
主な仕様
| メーカー | キーエンス |
|---|---|
| 機種名 | VR-5000 |
設置年度
2020年度
設置場所
旧館 B106号室
利用について
学外利用
本装置は学内者のみ利用可能です。