装置概要
EBSDとは、Electron Back Scattered Diffraction Patternの略称です。
70度傾斜させた試料に電子線を当てることで発生する菊池パターンを、EBSD検出器で検出し、解析することによって各結晶粒の結晶方位を同定することができます。
EBSD測定を行う際は、測定試料の表面の状態が非常に良い必要があります。(研磨を行う場合だと、0.04 μmコロイダルシリカによる最終研磨まで。)
本検出器はセンターのSEM・JSM-IT700HRに装着されています。SEM本体に低真空モードが備わっているため、導電性のない試料もコーティングなしでEBSD測定を行うことができます。
主な仕様
| メーカー | TSL (現EDAX) |
|---|---|
| 機種名 | Velocity Pro |
| 解析ソフト | OIM Analysis 8 – 9 |
設置年度
2023年度
設置場所
新館 206号室
利用について
講習受講
EBSD測定を行いたい場合はSEMの講習を受講した上で、EBSD測定の講習も受講してください。両方の講習を受ける必要があります。
依頼分析
学内者向けに依頼分析を承っていますのでご相談ください。
学外利用
本装置は他大学・公的研究機関、ならびに民間企業による利用が可能です。料金はSEMに準じます。