電界放射型電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)

日本電子　JXA-iHP200F

装置概要

　電子線を照射したときに発生する特性X線の波長と強度を測定することで元素分析を行う装置です。EDSよりもX線のエネルギー分解能が高いので、例えばBaとTiのように特性X線のエネルギー差が小さく、EDSでは区別できない元素も区別することができます。

設置場所

　新館 206号室