装置概要
電子線を照射したときに発生する特性X線の波長と強度を測定することで元素分析を行う装置です。基本構成はSEM-EDSと同じであり一つの電子顕微鏡でもありますが、WDSというEDSよりもX線のエネルギー分解能が高い分光器を備えているのが特徴です。例えばBaとTiのように特性X線のエネルギー差が小さく、EDSでは区別できない元素も区別することができます。またステージを高精度で移動させることができ、マッピングにも優れます。
なお本センターのEPMAはカソードルミネッセンス測定を行うこともできます。
主な仕様
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 機種名 | JXA-iHP200F |
| 付属機能 | EDS |
| CL |
設置年度
2021年度
設置場所
新館 206号室
利用について
依頼分析
学内者向けに依頼分析を承っていますのでご相談ください。
学外利用
本装置は他大学・公的研究機関、ならびに民間企業による利用が可能です。