電界放射型透過電子顕微鏡(FE-TEM)

装置概要

　透過型電子顕微鏡(TEM)は薄膜化させた試料に高エネルギーの電子線を照射し、試料を透過した透過電子を検出・結像することで、試料の内部構造を高分解能で観察する顕微鏡である。また、電子線を照射した際に試料から発生する特性X線を検出・解析することで、極微細領域の元素分析も可能である。

主な仕様

加速電圧	~ 200 kV
ビーム電流	~ 50 nA
TEM観察倍率	22 x ~ 930 kx
カメラ長	34 mm ~ 4500 mm
STEM観察倍率	150 x ~ 230 Mx
試料サイズ	直径3 mm 以内
試料ステージ	X,Y移動 ±1 mm　　Z移動 ±0.375 mm

利用方法及び注意点

観察・分析試料について

• TEMの試料室は高真空を維持する必要があるため、水分を含んだ試料や脱ガスの多い試料は観察しない(事前に十分に乾燥、脱ガスを行った試料は観察可)。
• 電子線を透過させるためには、試料は十分に薄膜化させる(材質にもよるが50～100 nm 程度)。
• 高エネルギーの電子線を照射するため、試料へのダメージを与える場合がある。

設置場所