キヤノンアネルバ HELEN M-212LD
装置概要
主な仕様
| 最小可検リーク量 | 10-12(Pa・m3/s台) |
|---|---|
| 測定範囲 | ミドルリーク量：10-12～10-5(Pa・m3/s) グロスリーク量：10-10～10-3 |
| 応答時間 | 1秒以下 |
| テストボート圧力範囲 | 1×10-1～105(Pa) ピラニーゲージによる測定範囲 |
| 分析管圧力表示 | 1×10-3～10-1(Pa) トライオードゲージによる測定範囲 |
| エミッション電流 | 1(mA) |
| 分析管感度 | 3×10-6(A/Pa) |
| テストポート圧力限界 | 1000(Pa) |
| 分析管でのヘリウム排気速度 | 10(l/s) |
| 分析管での空気排気速度 | 48(l/s) |
| 使用温度範囲 | 10～40(℃) |
設置場所
新館 電気室（108号室）