装置概要
ターゲット金属(Au、Pt、Pt-Pd)をスパッタリングし、試料表面をコートする装置です。SEMなどで試料表面を観察する際、一般的には試料に導電性がないと帯電してしまい、うまく観察ができません。イオンスパッタ装置によって試料表面を薄い金属膜でコートし、導電性をもたせることで観察ができるようになります。
ちなみに本センターにあるSEMは低真空観察が可能であり、その場合は試料に導電性がなくても観察が可能です。しかし高倍率の観察ではコートした方が観察しやすくなります。
主な仕様
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
|---|---|
| 型番 | E-1030 |
| 放電方式 | ダイオード放電マグネトロン形 (電場・磁場直行型) |
| ターゲット | Au、Pt、Pt-Pd |
| 試料サイズ | 最大直径：55 mm、最大高さ：20 mm |
設置年度
2004年度
設置場所
旧館 B202
利用について
学外利用
本装置は他大学・公的研究機関による利用が可能です。