装置概要
電子線を照射したときに試料表面から放出される電子を検出することで、表面形態を観察する装置です。本装置はエネルギー分散型X線分光装置(EDS)と電子線後方散乱回析装置(EBSD)を備えており、元素分析と結晶方位解析も行えます。低真空モードも備わっており、導電性のない試料も蒸着なしで観察、測定を行うことができます。
年報第10巻(2022年度版)でより詳しく紹介しています。
主な仕様
| メーカー | 日本電子 |
|---|---|
| 機種名 | JSM-IT700HR |
| 付属機能 | EDS |
| EBSD | |
| 低真空観察 |
設置年度
2021年度
設置場所
新館 206号室
利用について
依頼分析
学内者向けに依頼分析を承っていますのでご相談ください(EBSDも可)。
学外利用
本装置は他大学・公的研究機関、ならびに民間企業による利用が可能です。