走査型プローブ顕微鏡 (SPM)

装置概要

 SPM(Scanning Probe Microscope: 走査型プローブ顕微鏡)は、プローブ(探針)と試料の間に作用する様々な物理量を検出し、微小領域の表面形状や物性を測定する顕微鏡の総称である。基本的な測定モードとしてAFM(原子間力顕微鏡)やSTM(走査型トンネル顕微鏡)、その応用としてSCM(走査型キャパシタンス顕微鏡)、EFM(電気力顕微鏡)、MFM(磁気力顕微鏡)などがあげられる。 

 AFMの測定はさらにContactモードやTappingモード、ブルカー独自のPeak Force Tappingモードなど各種のモードがある。また応用として機械特性(弾性率等)のマッピングも可能である。

主な仕様
メーカーBruker
機種名Dimension Icon
測定モードAFM、SCM、EFM(微小電流・表面電位)、MFM
設置年度

2014年度

設置場所

旧館 B208号室

利用について

プローブの用意

プローブは各研究室でご用意ください。

学外利用

本装置は他大学・公的研究機関による利用が可能です。