装置概要
X線を照射したときに試料の極表面(数 nm)から放出される電子の運動エネルギーを調べることで、試料表面を構成する元素の種類と量、化学結合状態(価数など)を明らかにする装置です。
本学では各種オプションを備えています。Arイオンを使ったエッチングと深さ方向の分析ではモノマーだけでなく、ガスクラスターを使用できます。有機物などの柔らかい材料に適しています。またAES(オージェ電子分光)による微小領域の定性・定量分析とマッピング、UPS・REELS・LEIPSを使った電子状態の解析を行えます。
主な仕様
| メーカー | アルバック・ファイ |
|---|---|
| 機種名 | PHI GENESIS |
| X線 | Alモノクロ |
| 分析径 | 5 ~ 100 um |
| 試料サイズ | 縦横80 mm以下、高さ15 mm以下 (ホルダーによる) |
| 付属機能 | |
| Arモノマー/GCIB | |
| AES | |
| UPS | |
| REELS | |
| LEIPS | |
| 試料傾斜 | |
| 試料加熱 |
設置年度
2024年度
設置場所
新館 305号室
利用について
依頼分析
学内者向けに依頼分析を承っていますのでご相談ください。
学外利用
本装置は他大学・公的研究機関、ならびに民間企業による利用が可能です。