装置概要
試料にX線を照射し、出てきた蛍光X線から元素の種類と濃度を分析する装置です。膜厚を測定することもできます。バルクの固体だけでなく粉末や液体試料のサンプルも測定可能です。固体試料の場合は真空に引くことで、軽元素の感度を高めることもできます。
主な仕様
| メーカー | 日立ハイテクサイエンス |
|---|---|
| 機種名 | SEA1200VX |
| 管電圧 | 15, 30, 40, 50 kV |
| 管電流 | 最大1 mA |
| 分析径 | φ8 mm, φ1 mm |
設置年
2013年度
設置場所
新館 307号室
利用について
学外利用
本装置は他大学・公的研究機関、ならびに民間企業による利用が可能です。